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PlasCalc等离子体监测控制仪测量等离子体发射200nm-1100nm,只需3msPlasCalc等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3m就可以获得测量结果。特点光学分辨率1.0nm(FWHM)光谱范围200-1100nm快速的建模及存储实验方法Recipe编辑器Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验
PlasCalc等离子体监测控制仪测量等离子体发射200nm-1100nm,只需3ms PlasCalc等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3m就可以获得测量结果。特点光学分辨率1.0nm(FWHM)光谱范围200-1100nm快速的建模及存储实验方法Recipe编辑器Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实